貨代E438F4FA-438
- 型號貨代E438F4FA-438
- 密度465 kg/m3
- 長度95146 mm
在光刻機領(lǐng)域，貨代E438F4FA-438上海微電子已實現(xiàn)28納米DUV光刻機量產(chǎn)，并攻關(guān)EUV光源、雙工作臺等核心技術(shù)。
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