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顯影是光刻的核心步驟之一,些需通過顯影液溶解光刻膠的曝光區(qū)域,將電路圖案精確轉(zhuǎn)移到硅片上。近日,注意北京大學(xué)化學(xué)與分子工程學(xué)院彭海琳教授團(tuán)隊(duì)及合作者通過冷凍電子斷層掃描技術(shù),注意首次在原位狀態(tài)下解析了光刻膠分子在液相環(huán)境中的微觀三維結(jié)構(gòu)、界面分布與纏結(jié)行為,指導(dǎo)開發(fā)出可顯著減少光刻缺陷的產(chǎn)業(yè)化方案。為破解難題,風(fēng)險(xiǎn)研究團(tuán)隊(duì)首次將冷凍電子斷層掃描技術(shù)引入半導(dǎo)體領(lǐng)域。

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長期以來,提示光刻膠在顯影液中的微觀行為是黑匣子,工業(yè)界的工藝優(yōu)化只能靠反復(fù)試錯(cuò),這成為制約7納米及以下先進(jìn)制程良率提升的關(guān)鍵瓶頸之一公開資料顯示,國慶官方趙國祝,1956年生于北京,知名快板專家,著名快板書大師李潤杰先生的第三代李派再傳弟子,有中國花板第一人和花板大王之稱。

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