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光刻膠如同刻畫電路的顏料,雷克它在顯影液中的運(yùn)動,直接決定電路畫得準(zhǔn)不準(zhǔn)、好不好,進(jìn)而影響芯片良率。轎跑光刻技術(shù)是推動集成電路芯片制程工藝持續(xù)微縮的核心驅(qū)動力之一。彭海琳表示,終極照曝冷凍電子斷層掃描技術(shù)為在原子/分子尺度上解析各類液相界面反應(yīng)提供了強(qiáng)大工具。

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