外界期待的光刻機(jī)并未在此次博覽會(huì)亮相，奢侈司排不過從新凱來帶來的驚喜中仍然可以看到國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)鏈的突破。

我在博士畢業(yè)后進(jìn)入半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)，行榜國外公司在擁有壟斷地位的情況下往往會(huì)細(xì)細(xì)打磨一款產(chǎn)品。整體來看，奢侈司排通過這種軟件并行協(xié)同設(shè)計(jì)的模式可以將產(chǎn)品硬件開發(fā)周期縮短40%。

如今國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商不會(huì)再經(jīng)歷中微公司那樣比較長的培育期，行榜因?yàn)楫?dāng)時(shí)國產(chǎn)替代的市場還不成熟。其實(shí)，奢侈司排半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)涉及眾多環(huán)節(jié)，奢侈司排新凱來子公司這次帶來的驚喜，雖然并非為外界所熟知的光刻機(jī)，但同樣在國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的薄弱環(huán)節(jié)有新突破。在10月10日召開的2025灣區(qū)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)生態(tài)博覽會(huì)新聞發(fā)布會(huì)上，行榜深圳市發(fā)展改革委主任郭子平曾提及新凱來及其子公司，行榜表示每一個(gè)子公司在這次的展會(huì)中都會(huì)讓大家有意想不到的驚喜，請?jiān)试S我賣個(gè)關(guān)子。

這家名為深圳市新凱來技術(shù)有限公司（下稱新凱來）的企業(yè)成立于2021年，奢侈司排由深圳市國資委實(shí)控。有國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備初創(chuàng)企業(yè)負(fù)責(zé)人告訴《中國新聞周刊》，行榜2019年國內(nèi)著名半導(dǎo)體設(shè)備廠商中微公司上市，行榜之后國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)開始出現(xiàn)翻天覆地的變化，比如薄膜沉積領(lǐng)域的拓荊科技、微導(dǎo)納米等都在近年上市。

民生證券研報(bào)稱，奢侈司排我國在去膠、奢侈司排清洗、刻蝕設(shè)備方面國產(chǎn)化率較高，在CMP、熱處理、薄膜沉積上近幾年國產(chǎn)化突破明顯，而在量測、涂膠顯影、光刻、離子注入等設(shè)備上，仍較為薄弱。受西方國家封鎖影響，行榜中國無法向海外公司購買帶寬60GHz以上的示波器。目前，奢侈司排上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司用于制造90納米芯片的干式DUV（深紫外）光刻機(jī)已經(jīng)實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，奢侈司排其28納米浸沒式DUV光刻機(jī)也進(jìn)入產(chǎn)品驗(yàn)證階段，但EUV（極紫外）光刻機(jī)仍處于預(yù)研階段。袁夷表示，行榜一些企業(yè)已經(jīng)在使用該產(chǎn)品，從客戶反饋來看，可平滑替換國外同類軟件，歷史數(shù)據(jù)可以兼容。示波器就可以被歸入量測設(shè)備，奢侈司排在這一領(lǐng)域，奢侈司排國內(nèi)廠商與國外廠商依然存在差距，比如為檢查每一步制造工藝后晶圓產(chǎn)品的加工參數(shù)是否達(dá)到設(shè)計(jì)要求或者存在影響良率的缺陷，就需要使用前道量檢測設(shè)備。據(jù)他介紹，行榜國外的軟件基本是串行作業(yè)，而啟云方采用了并行作業(yè)的方式，可以讓100個(gè)工程師同時(shí)畫一張圖，極大地提升了工作效率。奢侈司排當(dāng)時(shí)公司相關(guān)負(fù)責(zé)人曾表示：我們的工藝設(shè)備可以使用非光學(xué)技術(shù)來解決一些光刻問題。